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我国首条研发中试线在沪运营
打通“超越摩尔”研发生产生态链
发布时间:2017-09-13
  国内首条、全球领先、兼容CMOS的8英寸“超越摩尔”研发中试线日前在上海嘉定正式启动。由上海微技术工业研究院构建的这条有望影响中国半导体产业发展的中试线,旨在打造中国完整的“超越摩尔”产业链基础,进一步推动中国“超越摩尔”技术和物联网创新应用快速发展。

  “传感器”打造智能生活

  如今,以移动互联网、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的新一代信息技术正加速创新、融合和普及应用,一个万物互联智能化时代日益临近。以智能手机为例,其内部就装载了加速度计、MEMS麦克风、指纹识别等二三十个传感器。在智能硬件、工业制造、健康医疗、车联网等诸多领域,传感器都有广阔的应用空间。近年来,国内传感器市场年均增速超过20%,市场规模超千亿元。

  目前,全球传感器市场主要由美国、日本等几家龙头企业主导。国外半导体巨头遵循着英特尔创始人之一戈登·摩尔提出的“摩尔定律”狂飙突进,中国企业一路追随,但始终难以望其项背——中国八成以上传感器依赖进口。核心技术尚未突破、纠缠于低端竞争等因素,长期制约着国内传感器产业的发展。

  根据摩尔定律,当价格不变时,集成电路上可容纳的元器件数目约每隔18—24个月会增加一倍,性能也将提升一倍。“超越摩尔”,是指无需遵循摩尔定律,在工艺尺寸上越做越小;而是在成熟的工艺生产线上,研发非数字、多元化半导体技术与产品,力争在传感器等其他新兴领域实现弯道超车。这是另辟蹊径的一种反向突破。据中试线运营副总裁游家杰介绍,第一个温度传感器产品将在这条中试线上流片,第一批产品预计10月下旬初步跑通;整条中试线按规划未来产能可以达到每月3000片。

  “超越摩尔”实现弯道超车

  纵观我国“超越摩尔”领域现状,虽经历多年的理论研究与技术验证,但在实际应用时,往往与生产平台脱节。这是因为微机电系统产品研发涉及的技术链条较长,且其“非标”特性使得它的研发与创新需要和生产线有一段比较长的磨合期。中试是其中的必经阶段,也是国内传感器厂家共同面临的挑战。据统计,科技成果经过中试,产业化成功率可达80%;未经中试的科技成果,成功率仅有30%。基于此,作为到2020年上海市将培育30家研发与转化功能型平台中的“首发阵容”,也是上海科创中心建设“四梁八柱”中的重要节点之一,上海微技术工业研究院将“超越摩尔”8英寸研发中试线,作为其瞄准具有全球影响力科技创新的发力点,争取在这一领域与国际领先水平并行。

  上海微技术工研院总裁杨潇认为,这条面向全国开放的8英寸研发中试线将成为一个创新设计的源头,不仅可以进行工艺研发,还可以实现和小批量生产的无缝对接,从而打通创新链和产业链,使得国内“超越摩尔”生态链得以完善。

  据中国科协副主席王曦院士介绍,在“超越摩尔”领域,相比于业界普遍使用的6英寸产线,贯通从研发到量产全程服务的8英寸线是公认的领先技术。这条研发中试线将专注于传感器产品技术开发,可以全面开展表面和3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发;并根据“超越摩尔”产品和技术特点,部署MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感等相关工艺和量测设备。8英寸研发中试线能承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务,有助于提升研发的成功率,更将助力实现“超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。

  据悉,8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发,可以全面开展表面、3D微纳加工及新工艺、新器件、新系统的研发,并根据“超越摩尔”产品技术特点部署了MEMS、3D集成、MR磁传感等相关工艺和量测设备,可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务,为企业走通从实验室到市场化的“最后一公里”搭建平台。
【来源】上海科技报