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我国首条8英寸“超越摩尔”研发中试线在沪正式运营
发布时间:2017-09-11








  9月10日,在2017中国(上海)国际传感器技术与应用展览会开幕式暨2017全球传感器与物联网产业峰会上,中国科协副主席、中国科学院院士王曦,工信部原副部长杨学山,市科委主任寿子琪、副主任干频,嘉定区委书记马春雷,国家集成电路产业投资基金总经理、中国高端芯片联盟理事长丁文武,工信部电子司副司长吴胜武共同启动上海微技术工业研究院(以下简称“工研院”)“超越摩尔”研发中试线,标志着国内首条、全球领先、兼容CMOS(互补金属氧化物半导体)的8英寸研发中试线在上海正式投入运营,旨在推动我国“超越摩尔”技术和物联网创新应用快速发展、引领全球。

  目前,在“超越摩尔”领域,业界普遍使用6英寸产线,贯通从研发到量产全程服务的8英寸产线是公认的领先技术。8英寸“超越摩尔”研发中试线落地上海嘉定工业区、近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房内,将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发,可全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发,并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。8英寸研发中试线不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务,有助于提升研发的成功率,更将助力实现“超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。以全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线为支点,工研院将打造集研发、工程、市场、孵化于一体的功能型平台,为创新企业及合作伙伴提供全方位服务和解决方案。

  会上,由工研院、国家集成电路产业投资基金及其他战略投资人共同发起的50亿元“超越摩尔”产业基金同时成立。基金将配合工研院在美国硅谷、法国格勒诺布尔、我国台湾新竹等地建立的创新网络,为更多创新企业提供早期支持,孵化未来领军企业。
【来源】市科委办